分子束外延的作用与优点

日期：2024-11-08 18:02

浏览次数：850

摘要：

分子束外延推动了以超薄层微结构材料为基础的新一代半导体科学技术的发展。分子束外延（MBE）是一种灵活的外延薄膜技术，可以表述为在超高真空环境中通过把热蒸发产生的原子或分子束投射到具有一定取向、一定温度的清洁衬底上而生成高质量的薄膜材料或各种所需结构。

分子束外延系统主要用于半导体和基础材料研究过程中。分子束外延系统的主要消费国家为欧洲，美国，日本和中国等具有较完整工业体系的国家，这些地区占据全球超过80%的市场。同时，发展中国家如印度，东南亚等近年来也在逐步加大基础研究领域的投资，未来将具有较大的市场潜力。

分子束外延是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。该技术的优点是：使用的衬底温度低，膜层生长速率慢，束流强度易于**控制，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜，以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。

尊敬的客户：

　　本公司还有冷冻修边机、冷冻去毛刺机、橡胶去毛边等产品，您可以通过网页拨打本公司的服务电话了解更多产品的详细信息，至善至美的服务是我们的追求，欢迎新老客户放心选购自己心仪产品，我们将竭诚为您服务！

下一篇：修毛边机基本特点
上一篇：分子束外延特点介绍